BTI AT2011/000032
Description of goods
Beige, runde, einseitig mit einem Haftkleber (pressure sensitive adhesive – PSA II) versehene Scheibe (Durchmesser: 24“) aus microporösem Polyurethan; die Klebeschicht ist mit einer abziehbaren Schutzfolie aus Polyethylenterephthalat (PET) abgedeckt; das Erzeugnis dient zum Ebnen, Glätten und Polieren von Wafern im sog. CMP-Verfahren (chemical-mechanical-planarization) und ist noch nicht mit dem Poliermittel ausgerüstet.