BTI DE6980/16-1
Description of goods
Andere feuerfeste keramische Ware, sog. Siliciumcarbid beschichtete Scheibenträger (ein Warenmuster wurde nicht vorgelegt, die Einreihung erfolgt aufgrund der Antragsangaben), - runde Haltevorrichtung aus mit Siliciumcarbid beschichtetem Graphit, - - mit einem Gehalt an Graphit von mehr als 50 GHT, - nach vorheriger Formgebung gebrannt, - Feuerfestigkeit größer als 1500°C (Hitzebeständigkeit), Arbeitstemperatur unter 1500°C, - zur Aufnahme von Halbleiterscheiben (Wafer), durch Einlegen in die vorgesehenen 21 Mulden, auf die während des Fertigungsprozesses in speziellen Öfen kristalline Schichten aufgewachst werden, - keine Einreihung in die Position 8486, da Teile aus keramische Stoffe gemäß der Anm. 1 b) zu Kapitel 84 von diesem Kapitel ausgenommen sind. "Andere feuerfeste keramische Ware, mit einem Gehalt an Grafit von mehr als 50 GHT"