Teil, erkennbar ausschließlich für einen Apparat zum Projizieren von Schaltungsbildern auf sensibilisierte Halbleitermaterialien bestimmt, sog. Litel InspecStep Interferometer ISI 193. Die Ware besteht im Wesentlichen aus einem Linsen-Array auf einem mit Mustern versehenen Reticle und wird zur Prüfung der Linsenaberrationen des Belichtungssystems verwendet. Mit Hilfe des sog. Interferometers wird ein Wafer belichtet, die Strukturen werden durch ein Overlay-Tool gemessen und auf einem Datenverarbeitungsgerät analysiert (beides nicht Gegenstand dieser vZTA).

Description of goods

DEB/2107/04-1

Expired

9010901000- Related TARIC code

Issuing country

Date of issue

Dec 20, 2004

Valid from

Dec 20, 2004

Valid until

Dec 31, 2006

Place of issue

BERLIN

Description of goods

Classification justification

Rechtsvorschriften: AV 1 / AV 6 / Anm 2 b) Kap 90

Keywords

FOR SEMICONDUCTOR PRODUCTIONINTERFEROMETERLITHOGRAPHS

DEB/2107/04-1

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