BTI DEBTI12601/21-1
Description of goods
Andere feuerfeste keramische Ware, sog. Umlenkblech (CVD Baffle), Art-Nr.: 34805010, Foto siehe Anlage, - in Form einer speziell nach technischer Zeichnung gefertigten, runden Scheibe, - laut technischer Zeichnung mit einem Durchmesser von 160 mm und einer Dicke von 4,85 mm, - keramisches Erzeugnis aus Siliciumcarbid (SiC), nach vorheriger Formgebung gebrannt, - laut ergänzenden Angaben feuerfest (hitzebeständig bis 1600 °C, Arbeitstemperatur bei 1320 °C), - laut Antrag: - - wird in Prozessrohren/Prozesskammern als Umlenkblech verwendet, - - sorgt für eine vollständigere Durchmischung der Reaktionsgase und verbessert so die Gleichmäßigkeit und die Geräteausbeute (dient zum Schutz der Wafer vor der Gasströmung), - keine Einreihung in die Codenummer 6903 9090 30 0, da sich die Ware nicht als ein Reaktorrohr oder eine Halterung darstellt, sondern lediglich zum Schutz der Wafer in Prozessrohren eingebaut wird. "Andere feuerfeste keramische Waren (Umlenkblech), andere als in den Unterpositionen 6903 1000 bis 6903 9010 genannte"