Andere feuerfeste keramische Ware; lt. Antrag: - funktionsspezifisch geformte Halterung in Form eines Rohrs zur Aufnahme spezieller sog.   Wafercarrier, - keramisches Erzeugnis aus Siliciumcarbid (SiC), nach vorheriger Formgebung gebrannt, - feuerfest (hitzebeständig bis 1800°C, Arbeitstemperatur bei ca. 1300°C), - wird zur Aufnahme von Wafern (Halbleiterscheiben) und zum Einschieben und Positionieren in   Diffusions- und Oxidationsöfen eingesetzt, - mit einem Erweichungspunkt von mehr als 1400 °C, - keine Einreihung in das Kapitel 84, da Teile aus keramischen Stoffen von diesem Kapitel   ausgenommen sind. "Andere feuerfeste keramische Ware, andere als in den Unterpositionen 6903 1000 bis 6903 9010 genannte, Halterung aus Siliciumcarbid mit einem Erweichungspunkt von mehr als 1400 °C"

AV 1 / AV 6 Anm 1 Kap 69 / Anm 1 b) Kap 84 ErlKN Kap 69 TK I (HS) RZ 01.0, 04.0, 05.0, 06.0 und 11.1 / ErlKN Pos 6903 (HS) RZ 01.5