BTI DEBTI33141/21-1
Description of goods
Feuerfeste keramische Waren (Paddle und Halterungen), - in unterschiedlichen Ausführungen, lt. Antrag: - - Halterungen (sog. Paddle) zum Einbringen und Herausholen von Halbleiterscheiben (Wafer) in Öfen, - - Prozessrohre zum Zu- bzw. Abführen von Prozessgasen bei der Herstellung von Halbleiterscheiben, - - Verbindungsstücke (Zwischenstück) zum Anbringen an Prozessrohre, - - keramische Erzeugnisse aus Siliciumcarbid (SiC) bzw. siliciuminfiltriertes Siliciumcarbid (SiSiC), nach vorheriger Formgebung gebrannt, - - feuerfest; die Waren werden bei hohen Temperaturen in Diffusions- und Oxidationsöfen bei der Herstellung von Halbleitermaterialien eingesetzt, - - mit einer maximalen Betriebstemperatur von 1370 °C oder mehr, - keine Einreihung in das Kapitel 84, da Waren aus keramischen Stoffen von Kapitel 84 ausgenommen sind. "Andere feuerfeste keramische Waren, andere als in den Unterpositionen 6903 1000 bis 6903 9010 genannte, Reaktorrohre und Halterungen aus Siliciumcarbid mit einer maximalen Betriebstemperatur von 1370 °C oder mehr"