Description of goods

Elektronenstrahlverdampfer (sog. Mehrtiegelverdampfer), - aus Arbeitseinheit mit Motor, Antriebsbuchse und Positioniereinheit, Wasserverteiler mit Zu-/Abfluss für Kühlwasser sowie Verdampfer mit Hohlwellen-Drehdurchführung zur Drehung und zur Kühlung des Tiegels, Durchführung, Filamentblock mit Anode und Kathode, Magnet, Tiegel (z.B. Vier-, Sechslochtiegel) für Verdampfungsgut/Beschichtungsmaterial, x- und y-Spule, Magnetstromanschluss, mit oder ohne Tiegelabdeckung und Abdeckblech, - zur Beschichtung verschiedener Substrate mit unterschiedlichen Materialien durch Verdampfen von reaktiven und hochschmelzenden Metallen und Dielektrikas mittels Elektronenstrahl. Lieferung erfolgt ohne prozessbedingte Komponenten wie Vakuumkammer, Vakuum- Pumpsystem, Substrathalter, elektrische Heizung für Substrat, Steuerung und Stromversorgung. "Elektrisches Gerät mit eigener Funktion, in Kapitel 85 anderweit weder genannt noch inbe- griffen, unvollständig; Elektronenstrahlverdampfer"