BTI FRBTIFR-BTI-2020-05870
Description of goods
Equipements de photolithographie par écriture directe par faisceau laser (gamme DILASE) et aligneurs de masque (gamme UV-KUB: la surface à travailler, couverte d’une résine photosensible et d’un masque, est exposée à un rayonnement ultraviolet émise par des LED UV qui attaque les surfaces non protégées par le masque) de haute résolution (de l’ordre du µm), s’adressant aux chercheurs et industriels, et directement conçus pour répondre à leurs besoins spécifiques, dans les domaines de la microfluidique ainsi qu’aux exigences et spécifications des professionnels de la microélectronique (réalisation de composants, circuits, puces électroniques…), de la photonique (réalisation de guide d’ondes...), des MEMS, de la fonctionnalisation de surface etc. Ces appareils de microtechnologie, avec écran tactile, logiciel dédié et programmables par l’opérateur, bien adaptés au prototypage rapide, permettent d’"écrire" sur divers substrats (semi-conducteur, verre, polymère, cristal, résine, film souple) afin de réaliser et fabriquer des masques, diverses micro-strutures...