Halbautomatisches Testsystem für sog. Wafer in Form einer kombinierten Maschine im Wesentlichen bestehend aus einem gemeinsamen Gehäuse (Abmessungen ohne Tisch ca. 82,5 x 76,2 x 36,8 cm, Gewicht 182 kg) mit einer Probenkammer mit einer Temperiervorrichtung, einer XYZ-Waferhalterung, einem optoelektronischen Mikroskop zur besseren Navigation auf dem Wafer, zwei LCD-Monitoren, Messspitzen sowie einer Mess- und Steuerelektronik (siehe Abbildung in der Anlage). Das System dient dem Messen von verschiedenen elektrischen Parametern wie Spannung in V und Stromstärke in A (kennzeichnende Haupttätigkeit) an elektronischen integrierten Schaltungen auf der Waferebene. Die Messungen können unter verschiedenen Temperaturbedingungen (-60 - 300°C) durchgeführt werden. Das System ist für Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 200 mm geeignet. Die Ware wird als "Gerät zum Messen oder Prüfen elektrischer Größen, kein Zähler der Position 9028, anderes als von den Unterpositionen (HS) 9030 10 bis 9030 40 erfasst, als Gerät zum Messen oder Prüfen von Halbleiterscheiben (wafers) oder Halbleiterbauelementen" eingereiht.

Rechtsvorschriften: AV 1 / AV 6 / Anm 3 Kap 90 / Anm 3 ABS XVI weitere Codenummer/n: 8528 / 8479 Erläuterungen: ErlKN Kap 90 (HS) RZ 20.0 bis 20.3 / ErlKN Kap 90 (HS) RZ 20.5 bis 20.6 / ErlKN Pos 9030 (KN) RZ 15.0 bis 18.0