Optisches Gerät zum Prüfen von Halbleiterscheiben (wafers), in Kap 90 anderweit weder genannt noch inbegriffen, so genanntes Metrology Sorter System MSS3000, im Wesentlichen bestehend aus einer 5.800 x 1.400 x 2.300 mm großen Stahlrahmenkonstruktion in der sich die Prüf- und Sortierstrecke mit Kameras und Lasern befindet. Das System überprüft und misst wafers u.a. hinsichtlich der Geometrie (Breite, Länge, Winkel), Randausbrüchen, Kantendefekten, Löchern, Verschmutzungen und Dickenabweichungen und sortiert sie entsprechend aus.

Rechtsvorschriften: AV 1 / AV 6