Kryopumpe (Abbildung siehe Anlage) - aus Vakuumbehälter, einem Metall-Kaltkopf mit zweistufigem Kaltkopfzylinder und Kondensationsflächen, elektrischer Heizvorrichtung, Gerätesteuerung und einem geschlossenen Kältekreislauf mit Kompressor, - zur Erzeugung eines Hochvakuums durch Kondensation von Gasmolekülen am Kaltkopf und Abscheidung von Gasmolekülen, - zur Integration in Beschichtungsanlagen (PVD-Anlagen) zum Herstellen von Halbleiterbauelementen. "Gerät von der ausschließlich oder hauptsächlich zum Herstellen von Halbleiterbauelementen verwendeten Art, keine Ultraschallwerkzeugmaschine - Kryopumpe für Beschichtungsanlage"

Description of goods

DEBTI44299/23-1

Active

8486200000- Related TARIC code

Issuing country

Date of issue

Jan 4, 2024

Valid from

Jan 8, 2024

Valid until

Jan 7, 2027

Place of issue

HANNOVER

Description of goods

Classification justification

AV 1 / AV 6 Anm 2 a) ABS XVI / Anm 11 D) Kap 84

Keywords

FOR THE MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR WAFERSFOR SURFACE COATINGFOR WAFERSELECTRONICSSECTIONSVACUUM PUMPS

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