Wafer Handhabungsgerät - im Wesentlichen aus einer Kassettenstation für das Aufsetzen einer Waferkassette, einem mechanischen Elevator zum Heben und Senken der Kassettenstation, einer automatischen linearen Führungseinrichtung mit Vakuumgreifer, einer automatischen Datenverarbeitungsmaschine mit Monitor zur Steuerung und Bedienung des Gerätes sowie Komponenten zur Stromversorgung - zum sequentiellen automatischen Zu- und Abführen von Wafern sowie zum Positionieren und Rotieren auf einem in ein optisches Mikroskop eingebauten mechanischen Verfahr- tisch (diese nicht Gegenstand dieser vZTA). "Maschine ausschließlich verwendet zum Heben, Fördern, Laden und Entladen von Halb- leiterscheiben (wafers), in Anmerkung 9 C) zu Kapitel 84 genannt - sog. Micro Loader"

AV 1 AV 6 Anm 5 E Kap 84 Anm 9 A) Kap 84 Anm 9 C) 3) Kap 84 Anm 9 D) Kap 84 ErlKN Pos 8486 (HS) RZ 55.0 ErlKN Pos 8486 (HS) RZ 56.0 ErlKN Pos 8486 (HS) RZ 63.0