Trocknungsanlage, - bestehend aus je einer Schleusenzone am Ein- und Auslauf, vier Heizzonen und einer Kühlzone, mit einer Hubtransporteinheit an den Schleusenzonen, Prozess- kammerdämmung und Schotts zur thermischen Trennung der Zonen, Heiz-EC-Lüfter, und Kühlwasserkreislauf sowie Multitouch Bildschirm in Form einer Datenverarbeitungs- maschine (Abbildung siehe Anlage), - zur thermischen Behandlung (Trocknen) von Semicon-Applikationen, Hybrid-Aufbauten und elektronischen Baugruppen, die in Magazinen (nicht Gegenstand dieser vZTA) transportiert werden. "Apparat zum Behandeln von Stoffen durch auf einer Temperaturänderung beruhende Vorgänge (Trocknen), Trockner, nicht für landwirtschaftliche Erzeugnisse, nicht für Holz, Papierhalbstoff, Papier oder Pappe - sog. Trocknungsanlage"

AV 1 AV 6 Anm 5 E) Kap 84