Description of goods
Elektronenmikroskop, im Wesentlichen bestehend aus mehreren über Leitungen miteinander verbundenen Komponenten (funktionelle Einheit) für die Einrichtung zum Transport, zum Laden und Ausrichten von Wafern. Rasterelektronenmikroskop mit Positioniertisch und optischem Mikroskop, Computer und Kontrollelektronik, Rotationsvakuumpumpen und Stromversorgung. Die Apparatur dient der vollautomatischen Vermessung auf rasterelektronenoptischer Basis von Linien und Kontaktlöchern von Schaltungsmustern auf Wafern bei der Halbleiterproduktion. Eine Einreihung in die KN-Unterposition 9012 1090 kommt nicht in Betracht, da die Ware von der KN-Unterposition 9012 1010 erfasst wird. Die Ware wird als "anderes als optisches Mikroskop, Elektronenmikroskop, mit Vorrichtungen versehen, die ihrer Beschaffenheit nach zum Handhaben und Transportieren von Halbleiterscheiben (wafers) oder Reticles besonders bestimmt sind " eingereiht.
