Kryopumpe (gasbindende Vakuumpumpe) - aus einem Metall-Pumpenkörper mit zweistufigem Kaltkopf mit Kondensationsflächen, Aktivkohleelement, Vakuumbehälter, Ventilsystem mit Überdruck- und Ablassventil, Unterdruckmesser, Temperatursensoren, elektrischer Heizvorrichtung, Elektromotor und Anschlüssen für Verbindung mit einem geschlossenen Kältemittel-Kreislauf, - zur Erzeugung eines Hochvakuums durch Kondensation von Gasmolekülen am Kaltkopf und Abscheidung von Gasmolekülen durch die Aktivkohle, - zur Integration in Ionen-Implantationsanlagen und Sputteranlagen. "Vakuumpumpe, nicht für zivile Luftfahrzeuge - Kryopumpe"

AV 1 AV 6 ErlKN Pos 8414 (HS) RZ 04.0