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LF-Generator, - aus Gleichrichter, Inverter, Steuerung, Ausgangsüberwachung, - in Form einer mit aktiven und passiven Bauelementen bestückten gedruckten Schaltung in einem Gehäuse mit Anschluss- und Bedienungsvorrichtungen sowie Statusanzeige, - zum Erzeugen elektrischer Leistungen (Frequenz von 40 kHz (+/- 1 kHz); 1.250 W bis 10.000 W) für den Einsatz in der Plasmaoberflächentechnologie (Erzeugen von Plasma) für universell einsetzbare Beschichtungsanlagen (z. B. für Halbleiter, Flachbildschirme, DVDs, CDs,...). "Elektrisches Gerät mit eigener Funktion, in Kapitel 85 anderweit weder genannt noch inbe- griffen, LF-Generator"