DEBTI19527/24-1Aktiv
9031.41.00.00
DE-9. Sept. 2024→8. Sept. 2027
Sog. elektronisches Messgerät, im Wesentlichen bestehend aus einem Gehäuse mit einem optischen System, einem Mikroskop, einem Objektivrevolver mit Linsen, einer Videokamera, einer Deuterium UV-Lampe, einer Xenon-Lampe, einem Ellipsometer, einem X-Y-Z-Messtisch, einem Monitor, einer Transport- und Positionierungsvorrichtung sowie weiteren elektrischen, elektronischen und mechanischen Bauteilen. Die Systemkomponenten sind über Kabel miteinander verbunden und bilden eine funktionelle Einheit (zur äußeren Form siehe Abbildung in der Anlage).
Das System dient der Messung und Analyse der leitfähigen oder isolierenden Schichten (Dicke, optische Eigenschaften, Zusammensetzung) von Halbleiterscheiben.
Zur Messung werden die Messproben (Wafer) mit Licht bestrahlt und die Polarisation des reflektierten Lichts zur Schichtdickenbestimmung analysiert.
Die Ware wird als "optisches Gerät zum Messen oder Prüfen, in Kapitel 90 anderweit weder genannt noch inbegriffen, anderes als Unterposition (KN) 9031 1000 bis 9031 2000, zum Prüfen von Halbleiterscheiben (wafers) oder Halbleiterbauelementen oder zum Prüfen von Fotomasken und Reticles für die Herstellung von Halbleiterbauelementen" eingereiht.