ATBTI2022000260-DEC3705009000
Stencil-Maske (Lochmaske),
- lt. Antragstellerangaben hergestellt aus einer SOI Siliziumwaferscheibe mit elektrisch leitender Oberflächenbeschichtung. Die Scheibe weist einen zentrisch angelegten, durch lithografische und ätzende Prozessschritte hergestellten, ca. 20 x 20 mm großen Bereich (Membranfeld) mit einer Restdicke von ca. 15 µm auf. Das Membranfeld (Blendenfeld) enthält eine Matrix aus vollständig durchgeätzten, quadratischen Blendenöffnungen mit unterschiedlich großen, sich abwechselnden Öffnungsbreiten (ca. 3,2 µm und ca. 4,0 µm; ca. 260.000 Öffnungen je Öffnungsgröße);
- wird als Lochmaske sowie als Strahlkalibrierungsziel für Elektronenstrahlen eingesetzt und ist zur Verwendung in einem Multielektronenstrahlmaskenschreiber bestimmt.
Abmessungen: ca. 50 x 50 x 0,65 mm