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Farbloses, klares, an der Luft trocknendes und einen trockenen, farblosen Film bildendes, flüssiges, zubereitetes chemisches Erzeugnis zu fotografischen Zwecken, Antireflexmittel, aus einem modifizierten Methacrylpolymer, mit einem Polymergehalt von nicht mehr als 10 GHT, in 2-Methoxy-1-methylethylacetat und 1-Methoxypropan-2-ol gelöst; das Erzeugnis dient als Antireflexmittel bei der Waferherstellung.

Angaben: Warenart: Antireflexmittel / Zubereitung (u.a.) aus Polymeren in organischen Lösemitteln - Erscheinungsbild: flüssig, gelblich bis braun, klar - Zusammensetzung: s. vertrauliche Daten - Verwendungszweck: Auftragung auf Waferoberflächen zur Verminderung der Reflexion der Belichtungswellenlänge vom Substrat in den Photoresist / Bildung einer Antireflexionsschicht - Aufmachung: abgefüllt in kundenspezifischen Gebinden. Feststellungen: Die Angaben der Antragstellerin werden als zutreffend unterstellt. Eine Warenprobe wurde nicht vorgelegt. Befund: Bei der vorliegenden Ware handelt es sich zolltariflich um ein zubereitetes chemisches Erzeugnis zu fotografischen Zwecken.

Angaben: Positiver Fotolack; dunkelrote Flüssigkeit; verwendet für die Sensibilisierung von Siliciumsscheiben; Belichtung mit i-Linie, erzielbare Lackdicke 1100 - 1800 nm auf Si-Wafern. Befund: Andere zubereitete chemische Erzeugnisse zu fotografischen Zwecken.

Angaben: Antireflexmittel WiDe-15C für die Waferherstellung. Befund: Zubereitetes chemisches Erzeugnis zu fotografischen Zwecken, anderes.

Angaben: AZ Aquatar Coating; Verwendung als Antireflexbeschichtung in der Fotolithographie zur Herstellung von integrierten Schaltungen (Wafers). Befund: Zubereitetes chemisches Erzeugnis zu fotografischen Zwecken, anderes.