DEBTI46117/21-16903909090
Andere feuerfeste keramische Ware, sog. Siliziumboot, Art.-Nr.: 34594400, Foto siehe Anlage,
- speziell nach technischer Zeichnung gefertigtes, mehrfach gebogenes, schienenartiges Erzeugnis,
- laut technischer Zeichnung mit den Abmessungen von 143,5 mm x 121,29 mm x 46,2 mm (L x B x H),
- keramisches Erzeugnis aus Siliciumcarbid (SiC), nach vorheriger Formgebung gebrannt,
- laut Antrag feuerfest (hitzebeständig bis 1600 °C, Betriebstemperatur maximal 1350 °C),
- wird laut Antrag zum Transport von Siliziumscheiben (Wafer) in einem Diffusions- oder Oxidationsofen
eingesetzt und dient zum Halten der Siliziumscheiben bei thermischen Prozessen.
"Andere feuerfeste keramische Ware (Halterung), andere als in den Unterpositionen 6903 1000 bis
6903 9010 genannte, Halterung aus Siliciumcarbid, andere als mit einer maximalen Betriebstemperatur
von 1370 °C oder mehr"