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Verbindliche Zolltarifauskunft (vZTA)

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DEBTI17040/25-169039090

Andere feuerfeste keramische Ware, lt. Antrag: - funktionsspezifisch geformte Halterung in Form eines Rohrs zur Aufnahme spezieller sog.   Wafercarrier, - keramisches Erzeugnis aus Siliciumcarbid (SiC), nach vorheriger Formgebung gebrannt, - feuerfest (hitzebeständig bis 1800 °C, Arbeitstemperatur bei ca. 1300°C), - wird zur Aufnahme von Wafern (Halbleiterscheiben) und zum Einschieben und Positionieren in   Diffusions- und Oxidationsöfen eingesetzt, - mit einem Erweichungspunkt von mehr als 1400 °C, - keine Einreihung in das Kapitel 84, da Teile aus keramischen Stoffen von diesem Kapitel   ausgenommen sind. "Andere feuerfeste keramische Ware, andere als in den Unterpositionen 6903 1000 bis 6903 9010 genannte"

DEBTI17041/25-169039090

Andere feuerfeste keramische Ware, lt. Antrag: - funktionsspezifisch geformte Halterung in Form eines Schiebers (Paddle), - keramisches Erzeugnis aus Siliciumcarbid (SiC), nach vorheriger Formgebung gebrannt, - feuerfest (hitzebeständig bis 1800 °C, Arbeitstemperatur bei ca. 1300 °C), - wird zur Aufnahme und zum Einschieben von Wafern (Halbleiterscheiben) und zum Positionieren   in Diffusions- und Oxidationsöfen eingesetzt, - mit einem Erweichungspunkt von mehr als 1400 °C, - keine Einreihung in das Kapitel 84, da Teile aus keramischen Stoffen von diesem Kapitel   ausgenommen sind. "Andere feuerfeste keramische Ware, andere als in den Unterpositionen 6903 1000 bis 6903 9010 genannte"

DEBTI17043/25-169039090

Andere feuerfeste keramische Ware,  lt. Antrag: - funktionsspezifisch geformte Halterung in Form einer Aufnahmevorrichtung (Boat), - keramisches Erzeugnis aus Siliciumcarbid (SiC), nach vorheriger Formgebung gebrannt, - feuerfest (hitzebeständig bis 1800 °C, Arbeitstemperatur bei ca. 1300 °C), - wird zur Aufnahme von Wafern (Halbleiterscheiben) zum Einschieben und Positionieren   in Diffusions- und Oxidationsöfen eingesetzt, - mit einem Erweichungspunkt von mehr als 1400 °C, - keine Einreihung in das Kapitel 84, da Teile aus keramischen Stoffen von diesem Kapitel   ausgenommen sind. "Andere feuerfeste keramische Ware, andere als in den Unterpositionen 6903 1000 bis 6903 9010 genannte"

DEBTI46117/21-16903909090

Andere feuerfeste keramische Ware, sog. Siliziumboot, Art.-Nr.: 34594400, Foto siehe Anlage, - speziell nach technischer Zeichnung gefertigtes, mehrfach gebogenes, schienenartiges Erzeugnis, - laut technischer Zeichnung mit den Abmessungen von 143,5 mm x 121,29 mm x 46,2 mm (L x B x H), - keramisches Erzeugnis aus Siliciumcarbid (SiC), nach vorheriger Formgebung gebrannt, - laut Antrag feuerfest (hitzebeständig bis 1600 °C, Betriebstemperatur maximal 1350 °C), - wird laut Antrag zum Transport von Siliziumscheiben (Wafer) in einem Diffusions- oder Oxidationsofen   eingesetzt und dient zum Halten der Siliziumscheiben bei thermischen Prozessen. "Andere feuerfeste keramische Ware (Halterung), andere als in den Unterpositionen 6903 1000 bis 6903 9010 genannte, Halterung aus Siliciumcarbid, andere als mit einer maximalen Betriebstemperatur von 1370 °C oder mehr"

DEBTI33141/21-16903909040

Feuerfeste keramische Waren (Paddle und Halterungen), - in unterschiedlichen Ausführungen, lt. Antrag: - - Halterungen (sog. Paddle) zum Einbringen und Herausholen von Halbleiterscheiben (Wafer) in Öfen, - - Prozessrohre zum Zu- bzw. Abführen von Prozessgasen bei der Herstellung von Halbleiterscheiben, - - Verbindungsstücke (Zwischenstück) zum Anbringen an Prozessrohre, - - keramische Erzeugnisse aus Siliciumcarbid (SiC) bzw. siliciuminfiltriertes Siliciumcarbid (SiSiC),     nach vorheriger Formgebung gebrannt, - - feuerfest; die Waren werden bei hohen Temperaturen in Diffusions- und Oxidationsöfen bei der     Herstellung von Halbleitermaterialien eingesetzt, - - mit einer maximalen Betriebstemperatur von 1370 °C oder mehr, - keine Einreihung in das Kapitel 84, da Waren aus keramischen Stoffen von Kapitel 84 ausgenommen   sind. "Andere feuerfeste keramische Waren, andere als in den Unterpositionen 6903 1000 bis 6903 9010 genannte, Reaktorrohre und Halterungen aus Siliciumcarbid mit einer maximalen Betriebstemperatur von 1370 °C oder mehr"

TARIC-Nomenklatur

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Einreihungsleitfaden

1 095 HS4

vZTA

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