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Andere feuerfeste keramische Ware, sog. Paddle, Art.-Nr.: 34592100, Foto siehe Anlage, - speziell nach technischer Zeichnung gefertigtes, nahezu gabelförmiges Erzeugnis, - laut technischer Zeichnung mit einer Länge von 2258 mm, - keramisches Erzeugnis aus Siliciumcarbid (SiC), nach vorheriger Formgebung gebrannt, - laut ergänzenden Angaben: - - feuerfest (hitzebeständig bis 1600 °C, Arbeitstemperatur bei 1320 °C), - - mit einem Erweichungspunkt von mehr als 1400 °C, - wird laut Antrag zur Positionierung von sog. Halbleiter-Wafer-Booten oder Trägern innerhalb von   Prozessrohren verwendet und dient dazu, die Träger in Prozessrohre einzusetzen und herauszuziehen. "Andere feuerfeste keramische Ware (Halterung), andere als in den Unterpositionen 6903 1000 bis 6903 9010 genannte, Halterung aus Siliciumcarbid mit einem Erweichungspunkt von 1400 °C oder mehr"

Andere feuerfeste keramische Ware, sog. Siliziumboot, Art.-Nr.: 34594400, Foto siehe Anlage, - speziell nach technischer Zeichnung gefertigtes, mehrfach gebogenes, schienenartiges Erzeugnis, - laut technischer Zeichnung mit den Abmessungen von 143,5 mm x 121,29 mm x 46,2 mm (L x B x H), - keramisches Erzeugnis aus Siliciumcarbid (SiC), nach vorheriger Formgebung gebrannt, - laut ergänzenden Angaben: - - feuerfest (hitzebeständig bis 1600 °C, Arbeitstemperatur bei 1320 °C), - - mit einem Erweichungspunkt von mehr als 1400 °C, - wird laut Antrag zum Transport von Siliziumscheiben (Wafer) in einem Diffusions- oder Oxidationsofen   eingesetzt und dient zum Halten der Siliziumscheiben bei thermischen Prozessen. "Andere feuerfeste keramische Ware (Halterung), andere als in den Unterpositionen 6903 1000 bis 6903 9010 genannte, Halterung aus Siliciumcarbid mit einem Erweichungspunkt von 1400 °C oder mehr"

Andere feuerfeste keramische Ware, sog. Prozessrohr (Diffusions-Rohr), Art.-Nr.: 34590500, Foto siehe Anlage, - speziell nach technischer Zeichnung gefertigtes, zylinderförmiges Erzeugnis, - an einem Ende spitz zulaufend, - laut technischer Zeichnung mit einem maximalen Durchmesser von 246 mm und einer Länge von   2100 mm, - keramisches Erzeugnis aus Siliciumcarbid (SiC), nach vorheriger Formgebung gebrannt, - laut ergänzenden Angaben: - - feuerfest (hitzebeständig bis 1600 °C, Arbeitstemperatur bei 1320 °C), - - mit einem Erweichungspunkt von mehr als 1400 °C, - wird laut Antrag als Prozessrohr in den Reaktionszonen von Halbleiteröfen eingesetzt und dient zur   Aufnahme von Siliziumscheiben, die im Ofen erhitzt werden, "Andere feuerfeste keramische Waren (Prozessrohr), andere als in den Unterpositionen 6903 1000 bis  6903 9010 genannte, Reaktorrohre und Halterungen aus Siliciumcarbid mit einem Erweichungspunkt  von 1400 °C oder mehr"

Andere feuerfeste keramische Ware; lt. Antrag: - funktionsspezifisch geformte Halterung in Form eines Schiebers (Paddle), - keramisches Erzeugnis aus Siliciumcarbid (SiC), nach vorheriger Formgebung gebrannt, - feuerfest (hitzebeständig bis 1800°C, Arbeitstemperatur bei ca. 1300°C), - wird zur Aufnahme und zum Einschieben von Wafern (Halbleiterscheiben) und zum Positionieren   in Diffusions- und Oxidationsöfen eingesetzt, - mit einem Erweichungspunkt von mehr als 1400 °C, - keine Einreihung in das Kapitel 84, da Teile aus keramischen Stoffen von diesem Kapitel   ausgenommen sind. "Andere feuerfeste keramische Ware, andere als in den Unterpositionen 6903 1000 bis 6903 9010 genannte, Halterung aus Siliciumcarbid mit einem Erweichungspunkt von mehr als 1400 °C"

Andere feuerfeste keramische Ware; lt. Antrag: - funktionsspezifisch geformte Halterung in Form eines Rohrs zur Aufnahme spezieller sog.   Wafercarrier, - keramisches Erzeugnis aus Siliciumcarbid (SiC), nach vorheriger Formgebung gebrannt, - feuerfest (hitzebeständig bis 1800°C, Arbeitstemperatur bei ca. 1300°C), - wird zur Aufnahme von Wafern (Halbleiterscheiben) und zum Einschieben und Positionieren in   Diffusions- und Oxidationsöfen eingesetzt, - mit einem Erweichungspunkt von mehr als 1400 °C, - keine Einreihung in das Kapitel 84, da Teile aus keramischen Stoffen von diesem Kapitel   ausgenommen sind. "Andere feuerfeste keramische Ware, andere als in den Unterpositionen 6903 1000 bis 6903 9010 genannte, Halterung aus Siliciumcarbid mit einem Erweichungspunkt von mehr als 1400 °C"