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Feuerfeste keramische Waren (Paddle und Halterungen), - in unterschiedlichen Ausführungen, lt. Antrag: - - Halterungen (sog. Paddle) zum Einbringen und Herausholen von Halbleiterscheiben (Wafer) in Öfen, - - Prozessrohre zum Zu- bzw. Abführen von Prozessgasen bei der Herstellung von Halbleiterscheiben, - - Verbindungsstücke (Zwischenstück) zum Anbringen an Prozessrohre, - - keramische Erzeugnisse aus Siliciumcarbid (SiC) bzw. siliciuminfiltriertes Siliciumcarbid (SiSiC),     nach vorheriger Formgebung gebrannt, - - feuerfest; die Waren werden bei hohen Temperaturen in Diffusions- und Oxidationsöfen bei der     Herstellung von Halbleitermaterialien eingesetzt, - - mit einer maximalen Betriebstemperatur von 1370 °C oder mehr, - keine Einreihung in das Kapitel 84, da Waren aus keramischen Stoffen von Kapitel 84 ausgenommen   sind. "Andere feuerfeste keramische Waren, andere als in den Unterpositionen 6903 1000 bis 6903 9010 genannte, Reaktorrohre und Halterungen aus Siliciumcarbid mit einer maximalen Betriebstemperatur von 1370 °C oder mehr"

Feuerfeste keramische Waren (Boote), Foto siehe Anlage, - in unterschiedlichen Ausführungen, lt. Antrag: - - Halterungen (sog. Boote) zum Einstellen von rechteckigen Halbleiterscheiben (Wafer), - - keramische Erzeugnisse aus Siliciumcarbid (SiC) bzw. siliciuminfiltriertes Siliciumcarbid (SiSiC),     nach vorheriger Formgebung gebrannt, - - feuerfest; die Waren werden bei hohen Temperaturen in Diffusions- und Oxidationsöfen bei der     Herstellung von Halbleitermaterialien eingesetzt, - - mit einer maximalen Betriebstemperatur von 1370 °C oder mehr, - - dienen als Träger für Halbleiterscheiben, um diese in den Öfen zu positionieren, - keine Einreihung in das Kapitel 84, da Waren aus keramischen Stoffen von Kapitel 84 ausgenommen   sind. "Andere feuerfeste keramische Waren, andere als in den Unterpositionen 6903 1000 bis 6903 9010 genannte, Halterungen aus Siliciumcarbid, mit einer maximalen Betriebstemperatur von 1370 °C oder mehr"

Andere feuerfeste keramische Ware, sog. Siliziumboot, Art.-Nr.: 34594400, Foto siehe Anlage, - speziell nach technischer Zeichnung gefertigtes, mehrfach gebogenes, schienenartiges Erzeugnis, - laut technischer Zeichnung mit den Abmessungen von 143,5 mm x 121,29 mm x 46,2 mm (L x B x H), - keramisches Erzeugnis aus Siliciumcarbid (SiC), nach vorheriger Formgebung gebrannt, - laut Antrag feuerfest (hitzebeständig bis 1600 °C, Betriebstemperatur maximal 1350 °C), - wird laut Antrag zum Transport von Siliziumscheiben (Wafer) in einem Diffusions- oder Oxidationsofen   eingesetzt und dient zum Halten der Siliziumscheiben bei thermischen Prozessen. "Andere feuerfeste keramische Ware (Halterung), andere als in den Unterpositionen 6903 1000 bis 6903 9010 genannte, Halterung aus Siliciumcarbid, andere als mit einer maximalen Betriebstemperatur von 1370 °C oder mehr"

Andere feuerfeste keramische Ware, sog. Paddle, Art.-Nr.: 34592100, Foto siehe Anlage, - speziell nach technischer Zeichnung gefertigtes, nahezu gabelförmiges Erzeugnis, - laut technischer Zeichnung mit einer Länge von 2258 mm, - keramisches Erzeugnis aus Siliciumcarbid (SiC), nach vorheriger Formgebung gebrannt, - laut ergänzenden Angaben: - - feuerfest (hitzebeständig bis 1600 °C, Arbeitstemperatur bei 1320 °C), - - mit einem Erweichungspunkt von mehr als 1400 °C, - wird laut Antrag zur Positionierung von sog. Halbleiter-Wafer-Booten oder Trägern innerhalb von   Prozessrohren verwendet und dient dazu, die Träger in Prozessrohre einzusetzen und herauszuziehen. "Andere feuerfeste keramische Ware (Halterung), andere als in den Unterpositionen 6903 1000 bis 6903 9010 genannte, Halterung aus Siliciumcarbid mit einem Erweichungspunkt von 1400 °C oder mehr"

Andere feuerfeste keramische Ware, sog. Siliziumboot, Art.-Nr.: 34594400, Foto siehe Anlage, - speziell nach technischer Zeichnung gefertigtes, mehrfach gebogenes, schienenartiges Erzeugnis, - laut technischer Zeichnung mit den Abmessungen von 143,5 mm x 121,29 mm x 46,2 mm (L x B x H), - keramisches Erzeugnis aus Siliciumcarbid (SiC), nach vorheriger Formgebung gebrannt, - laut ergänzenden Angaben: - - feuerfest (hitzebeständig bis 1600 °C, Arbeitstemperatur bei 1320 °C), - - mit einem Erweichungspunkt von mehr als 1400 °C, - wird laut Antrag zum Transport von Siliziumscheiben (Wafer) in einem Diffusions- oder Oxidationsofen   eingesetzt und dient zum Halten der Siliziumscheiben bei thermischen Prozessen. "Andere feuerfeste keramische Ware (Halterung), andere als in den Unterpositionen 6903 1000 bis 6903 9010 genannte, Halterung aus Siliciumcarbid mit einem Erweichungspunkt von 1400 °C oder mehr"