DEBTI18510/25-169091200
Keramische Waren zu technischen Zwecken, sog. Suszeptoren, Foto siehe Anlage,
- aus hochreinem, isostatisch gepresstem, künstlichem Graphit in Form von Blöcken
und Stäben,
- bei einer Temperatur (laut ergänzenden Antragsangaben) von mehr als 800°C
gebrannt,
- mit Hilfe einer CNC-Maschine zu unterschiedlichen Suszeptorenkomponenten
(Single/Multi Wafer Susceptor, Barrel Susceptor, Pancake Susceptor) geschnitten,
- mit erneuter thermischer Bearbeitung, um metallische Verunreinigungen aus dem
Graphit zu entfernen,
- Aufbringen einer dünnen, verschleißfesten Siliziumkarbid-Schicht mittels
CVD-Verfahren bei Temperaturen von 1.200 bis 1.300 °C,
- dienen als Träger von LED- oder Halbleiter-Wafern in Anlagen für die
metallorganische chemische Gasphasenabscheidung (MOCVD-Anlagen),
- keine Einreihung in die Position 8486, da Teile aus keramischen Stoffen
aus dem Kapitel 84 ausgewiesen sind,
- keine Einreihung in das Kapitel 68, da die Ware keramisch gebrannt ist.
"Keramische Waren zu technischen Zwecken, nicht aus Porzellan, mit einer Mohsschen Härte von 9 oder mehr"