DEM/9026/07-185437090
Elektronenstrahlverdampfer (sog. Mehrtiegelverdampfer),
- aus Arbeitseinheit mit Motor, Antriebsbuchse und Positioniereinheit, Wasserverteiler mit
Zu-/Abfluss für Kühlwasser sowie Verdampfer mit Hohlwellen-Drehdurchführung zur Drehung
und zur Kühlung des Tiegels, Durchführung, Filamentblock mit Anode und Kathode,
Magnet, Tiegel (z.B. Vier-, Sechslochtiegel) für Verdampfungsgut/Beschichtungsmaterial,
x- und y-Spule, Magnetstromanschluss, mit oder ohne Tiegelabdeckung und Abdeckblech,
- zur Beschichtung verschiedener Substrate mit unterschiedlichen Materialien durch
Verdampfen von reaktiven und hochschmelzenden Metallen und Dielektrikas mittels
Elektronenstrahl.
Lieferung erfolgt ohne prozessbedingte Komponenten wie Vakuumkammer, Vakuum-
Pumpsystem, Substrathalter, elektrische Heizung für Substrat, Steuerung und
Stromversorgung.
"Elektrisches Gerät mit eigener Funktion, in Kapitel 85 anderweit weder genannt noch inbe-
griffen, unvollständig; Elektronenstrahlverdampfer"