System zum Messen oder Prüfen von Halbleiterbauelementen, im Wesentlichen bestehend aus einer Messeinheit mit magnetischen Messsensoren und einem verfahrbaren Probenträger sowie einer Steuer- und Auswerteeinheit mit PC und Steuervorrichtung, durch elektrische Kabel verbunden (funktionelle Einheit). Das Gerät misst die magnetischen Felder von elektrisch aktiven Halbleiterbauelementen und berechnet die Stromdichte. Diese Messergebnisse dienen der Auffindung von Fertigungsfehlern in den Bauelementen. Die Ware wird als "Gerät zum Messen oder Prüfen elektrischer Größen, kein Zähler der Position 9028, anderes als Unterposition (HS) 9030 10 bis 9030 40, als Gerät zum Messen oder Prüfen von Halbleiterscheiben (wafers) oder Halbleiterbauelementen" eingereiht. Abbildung: siehe Anlage

Rechtsvorschriften: AV 1 / AV 6 / Anm 3 Kap 90 / Anm 4 ABS XVI weitere Codenummer/n: 8471 Erläuterungen: ErlKN Pos 9030 (HS) RZ 33.1 / ErlKN Pos 9030 (HS) RZ 43.0 / ErlKN Pos 9030 (KN) RZ 15.0 bis 18.0