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Sog. Messgeräte für Halbleiterscheiben (Wafers), in Form funktioneller Einheiten, im Wesentlichen jeweils bestehend aus einem Messgerät, welches über Kabel mit einem PC (teilweise mit Monitor und Drucker) zur Steuerung, Darstellung, Auswertung und Speicherung der Messwerte verbunden ist (siehe beispielhafte Abbildungen in der Anlage). Die Messgeräte setzen sich aus einem Gehäuse mit einer Aufnahmevorrichtung für die Halbleiterscheiben sowie der notwendigen Messtechnik zusammen. Sie dienen der Messung des spezifischen elektrischen Widerstandes in Ohm (Schicht- oder Flächenwiderstand) der leitfähigen oder isolierenden Schichten auf Halbleiterscheiben (Wafers). Die Ware wird als "Gerät zum Messen oder Prüfen elektrischer Größen (Widerstand), kein Zähler der Position 9028, anderes als Unterposition (HS) 9030 10 bis 9030 40, als Gerät zum Messen oder Prüfen von Halbleiterscheiben (wafers) oder Halbleiterbauelementen (einschließlich integrierter Schaltungen)" eingereiht.

Messgeräte für Halbleiterscheiben (Wafers) in Form funktioneller Einheiten, im Wesentlichen jeweils bestehend aus einem Messgerät, welches über Kabel mit einem PC (teilweise mit Monitor und Drucker) zur Steuerung, Darstellung, Auswertung und Speicherung der Messwerte verbunden ist (siehe beispielhafte Abbildungen in der Anlage). Die Messgeräte setzen sich aus einem Gehäuse mit einer Aufnahmevorrichtung für die Halbleiterscheiben sowie der notwendigen Messtechnik zusammen. Sie dienen der Messung des spezifischen elektrischen Widerstandes in Ohm (Schicht- oder Flächenwiderstand) der leitfähigen oder isolierenden Schichten auf Halbleiterscheiben (Wafers). Die Ware wird als "Gerät zum Messen oder Prüfen elektrischer Größen (Widerstand), kein Zähler der Position 9028, anderes als Unterposition (HS) 9030 10 bis 9030 40, als Gerät zum Messen oder Prüfen von Halbleiterscheiben (wafers) oder Halbleiterbauelementen (einschließlich integrierter Schaltungen)" eingereiht.

Halbautomatisches Testsystem für sog. Wafer in Form einer kombinierten Maschine im Wesentlichen bestehend aus einem gemeinsamen Gehäuse (Abmessungen ohne Tisch ca. 82,5 x 76,2 x 36,8 cm, Gewicht 182 kg) mit einer Probenkammer mit einer Temperiervorrichtung, einer XYZ-Waferhalterung, einem optoelektronischen Mikroskop zur besseren Navigation auf dem Wafer, zwei LCD-Monitoren, Messspitzen sowie einer Mess- und Steuerelektronik (siehe Abbildung in der Anlage). Das System dient dem Messen von verschiedenen elektrischen Parametern wie Spannung in V und Stromstärke in A (kennzeichnende Haupttätigkeit) an elektronischen integrierten Schaltungen auf der Waferebene. Die Messungen können unter verschiedenen Temperaturbedingungen (-60 - 300°C) durchgeführt werden. Das System ist für Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 200 mm geeignet. Die Ware wird als "Gerät zum Messen oder Prüfen elektrischer Größen, kein Zähler der Position 9028, anderes als von den Unterpositionen (HS) 9030 10 bis 9030 40 erfasst, als Gerät zum Messen oder Prüfen von Halbleiterscheiben (wafers) oder Halbleiterbauelementen" eingereiht.

Digitalinstrument, im Wesentlichen bestehend aus einer mit aktiven und passiven elektronischen Bauelementen bestückten Leiterplatte mit 64 Kanälen mit einer Datenrate von bis zu 4 Gigabit pro Sekunde. Innerhalb eines modularen Testsystems für Halbleiterbauelemente (nicht Gegenstand dieser vZTA) dient es im Rahmen von analogen und digitalen Testverfahren an den Bauelementen, dem zeitunabhängigen und zeitabhängigen Messen von Spannung (-5,0 V - + 8.0 V) und Stromstärke (±20 mA, .±60 mA, ±2 mA, ±200 µA, ±20 µA, ±5 µA). Diese werden mit vorgegebenen Werten (Soll-Ist-Vergleich) verglichen, um so Rückschlüsse auf die Funktionsfähigkeit (Logikanalyse) dieser Bauelemente zu erhalten. Über die Karte können sog. Pattern (Prüfmuster) in die Bauelemente eingespeist werden. Die Ware wird als "Gerät zum Messen oder Prüfen elektrischer Größen, kein Zähler der Position 9028, anderes als Unterposition (HS) 9030 10 bis 9030 40, als Gerät zum Messen oder Prüfen von Halbleiterscheiben (wafers) oder Halbleiterbauelementen" eingereiht.

System zum Messen oder Prüfen von Halbleiterbauelementen, im Wesentlichen bestehend aus einer Messeinheit mit magnetischen Messsensoren und einem verfahrbaren Probenträger sowie einer Steuer- und Auswerteeinheit mit PC und Steuervorrichtung, durch elektrische Kabel verbunden (funktionelle Einheit). Das Gerät misst die magnetischen Felder von elektrisch aktiven Halbleiterbauelementen und berechnet die Stromdichte. Diese Messergebnisse dienen der Auffindung von Fertigungsfehlern in den Bauelementen. Die Ware wird als "Gerät zum Messen oder Prüfen elektrischer Größen, kein Zähler der Position 9028, anderes als Unterposition (HS) 9030 10 bis 9030 40, als Gerät zum Messen oder Prüfen von Halbleiterscheiben (wafers) oder Halbleiterbauelementen" eingereiht. Abbildung: siehe Anlage