Energieversorgungseinheit Flash Power Supply Unit (FPSU) - aus vier Kondensatorbänken mit Spannungsversorgungseinheit, Ladeschaltung, Entladungs- und Widerstandseinheit, Thyristoren, Sicherheitsüberwachung und Systemsteuerung, in einem Schrankgehäuse mit Anschlussvorrichtungen, - zur elektrischen Versorgung von vier Blitz-Bogenlampen (max. Spannung 2,8 kV pro Lampe), - zur auschließlichen Verwendung in der Halbleiterindustrie nach Integration in ein Waferschnellheizsystem zur Herstellung von Halbleiterbauelementen. "Gerät von der ausschließlich oder hauptsächlich zum Herstellen von Halbleiterbauelementen verwendeten Art, keine Ultraschallwerkzeugmaschine - Energieversorgungseinheit"

AV 1 AV 6 Anm 2 a) ABS XVI Anm 9 D) Kap 84