Sog. Wafer Plane Plate (Trägerplatte), Teile-Nr.120-03358 - in Form eines nach Werkzeichnung maßhaltig gefertigten, einseitig verspiegeltem Konstruktionsteils aus Aluminium, mit quadratischem Grundriss, runder Wafer- Aufnahmefläche und Aussparungen zur Aufnahme von Funktions- sowie Montage- elementen (Abbildung siehe Anlage), - zur Verwendung als Wafer-Aufnahmeplatte (Trägerplatte) in der Prozesskammer eines Schnellheizsystems zum Erhitzen von Halbleiterscheiben (Wafers) im Rahmen der Herstellung von Halbleiterbauelementen. "Teil, erkennbar hauptsächlich bestimmt für Apparate von der ausschließlich zur Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendeten Art, keine Ware der Codenummern 8486 9010 00 0 bis 8486 9070 00 0 - Trägerplatte"

AV 1 AV 6 Anm 2 b) ABS XVI