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Sog. Subreflector Continous Lamp (Reflektor-Baugruppe), Teile-Nr. 121-00648 - in Form einer maßhaltig gefertigten Baugruppe aus sechs einseitig verspiegelten Aluminium-Reflektoren, Bohrungen mit Anschlussstücken für Kühlwasser-Ver- sorgung und Montageelementen, - zur Verwendung als Reflektor-Baugruppe (Lampenkörper) einer sog. Bogenlampe in einem Schnellheizsystem zum Erhitzen von Halbleiterscheiben (Wafers) im Rahmen der Herstellung von Halbleiterbauelementen. "Teil, erkennbar hauptsächlich bestimmt für Apparate von der ausschließlich zur Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendeten Art, keine Ware der Codenummern 8486 9010 00 0 bis 8486 9070 00 0 - Reflektor-Baugruppe"

Sog. Wafer Plane Plate (Trägerplatte), Teile-Nr.120-03358 - in Form eines nach Werkzeichnung maßhaltig gefertigten, einseitig verspiegeltem Konstruktionsteils aus Aluminium, mit quadratischem Grundriss, runder Wafer- Aufnahmefläche und Aussparungen zur Aufnahme von Funktions- sowie Montage- elementen (Abbildung siehe Anlage), - zur Verwendung als Wafer-Aufnahmeplatte (Trägerplatte) in der Prozesskammer eines Schnellheizsystems zum Erhitzen von Halbleiterscheiben (Wafers) im Rahmen der Herstellung von Halbleiterbauelementen. "Teil, erkennbar hauptsächlich bestimmt für Apparate von der ausschließlich zur Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendeten Art, keine Ware der Codenummern 8486 9010 00 0 bis 8486 9070 00 0 - Trägerplatte"

Sog. Subreflector Side Flash Lamp (Reflektor-Baugruppe), Teile-Nr. 121-00650 - in Form einer maßhaltig gefertigten Baugruppe aus fünf einseitig verspiegelten Aluminium-Reflektoren, Bohrungen mit Anschlussstücken für Kühlwasser-Ver- sorgung und Montageelementen (Abbildung siehe Anlage), - zur Verwendung als Reflektor-Baugruppe (Lampenkörper) einer sog. Bogenlampe in einem Schnellheizsystem zum Erhitzen von Halbleiterscheiben (Wafers) im Rahmen der Herstellung von Halbleiterbauelementen. "Teil, erkennbar hauptsächlich bestimmt für Apparate von der ausschließlich zur Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendeten Art, keine Ware der Codenummern 8486 9010 00 0 bis 8486 9070 00 0 - Reflektor-Baugruppe"

Sog. Subreflector Middle Flash Lamp (Reflektor-Baugruppe), Teile-Nr. 121-00649 - in Form einer maßhaltig gefertigten Baugruppe aus vier einseitig verspiegelten Aluminium-Reflektoren, Bohrungen mit Anschlussstücken für Kühlwasser-Ver- sorgung und Montageelementen, - zur Verwendung als Reflektor-Baugruppe (Lampenkörper) einer sog. Bogenlampe in einem Schnellheizsystem zum Erhitzen von Halbleiterscheiben (Wafers) im Rahmen der Herstellung von Halbleiterbauelementen. "Teil, erkennbar hauptsächlich bestimmt für Apparate von der ausschließlich zur Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendeten Art, keine Ware der Codenummern 8486 9010 00 0 bis 8486 9070 00 0 - Reflektor-Baugruppe"

Bogenlampe für Waferschnellheizsysteme - aus einem Quarzrohr und einem innenverspiegelten Körper (Reflektor) aus Aluminium mit einer Anode und einer Kathode, mit spezifischen Abmessungen und Anschlüssen, - zur Verwendung als Bogenlampe in einem Schnellheizsystem zum Erhitzen von Halbleiter- scheiben (wafers) im Rahmen der Herstellung von Halbleiterbauelementen. "Teil, erkennbar ausschließlich bestimmt für Apparate von der ausschließlich zur Herstellung von Halbleiterscheiben (wafers) verwendeten Art, kein Werkzeughalter, kein Werkstückhalter nicht von den Codenummern (KN) 8486 90 20 00 0 bis 8486 90 70 00 01 erfasst - Bogenlampe für Waferschnellheizsysteme"