Anlage zur Bearbeitung von Siliziumblöcken - in Form einer über Förderbänder und elektrische Kabel miteinander verbundenen Bearbeitungslinie aus Schleifstation mit drei Oberflächen-Schleifmaschinen und Handhabungsroboter, Schneidstation mit vier Cutting-Einheiten und Handhabungs- roboter sowie Klebestation mit Reinigungseinheit, Fixier- und Klebestoffauftrag- vorrichtung, Handhabungsroboter sowie Inspektions- und Anlage-Steuereinheiten, - zum automatischen Oberflächenschleifen und Trennen (Zerschneiden) von Silizium- blöcken sowie zum Aufbringen der Siliziumscheiben auf Kunststoff-Träger, im Rahmen der Herstellung von Solarzellen. "Maschine zum Herstellen von Halbleiterscheiben (funktionelle Einheit) - sog. Anlage zur Bearbeitung von Siliziumblöcken"

AV 1 AV 6 Anm 9 A) Kap 84 Anm 9 D) Kap 84 Anm 4 ABS XVI ErlKN Pos 8486 (HS) RZ 02.0 ErlKN Pos 8486 (HS) RZ 08.0