Anderes als optisches Mikroskop (Rastertunnelmikroskop -RTM-), so genanntes UHV 350/750 AFM/STM (Atomic Microscope / Scanning Tunneling Microscope), im Wesentlichen bestehend aus Ultrahochvakuumsystem (UHV) mit Edelstahlkammer mit Vakuumpumpen, bestückt mit Tastertunnelmikroskop und zusätzlicher Präparationskammer. Die Tunnelspitze des RTM wird im UHV-System über eine Probenoberfläche gerastert. Während des Rastervorgangs ist eine Spannung angelegt. Der durch die Spitze fließende Strom überlagert sich mit den von der Oberfläche des Prüfobjekts abgegebenen Elektronen, so dass ein Austausch von Elektronen auftritt, was zu einem Tunnelstrom führt. Dieser wird gemessen und gibt dann den Kontrast für die Abbildung wieder. Damit können Bilder der elektronischen Oberflächenstruktur mit atomarer Auflösung aufgenommen werden. Das Rastertunnelmikroskop wird in der Forschung zur Oberflächenanalytik eingesetzt.

Rechtsvorschriften: AV 1 / AV 6 Erläuterungen: ErlKN Pos 9012 (HS) RZ 10.0