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System für die Atomsondentomographie in Form einer funktionellen Einheit, im Wesentlichen bestehend aus einem Hauptgerät, einem Steuerschrank und einer integrierten Steuer-, Auswerte- und Überwachungsstation mit PC. Die Einzelkomponenten sind über Kabel verbunden. Das Hauptgerät verfügt über ein Vakuumsystem mit Pumpen, eine Probenkammer, einen Hochspannungsgenerator, einen Laser, sowie einen Detektor (siehe Abbildung in der Anlage). Das System ist eine Weiterentwicklung des Feldionenmikroskops und ermöglicht die dreidimensionale Abbildung der lokalen Zusammensetzung von Materialien in atomarer Auflösung. Hierzu werden mit Hilfe von Hochspannungsimpulsen und Laser einzelne Atome aus der Probe gelöst, welche durch den Detektor nach Raum und Zeit detektiert werden. Dadurch kann die ursprüngliche Position der Atome in der Probe rekonstruiert werden. Das Gerät wird in der wissenschaftlichen Materialanalyse eingesetzt. Die Ware wird als "anderes als optisches Mikroskop, kein Elektronenmikroskop, mit Vorrichtungen versehen, die ihrer Beschaffenheit nach zum Handhaben und Transportieren von Halbleiterscheiben (wafers) oder Reticles besonders bestimmt sind" eingereiht.

Rastermagnetmikroskop, im Wesentlichen bestehend aus einer Messeinheit mit einem magnetischen Messsensor (SQUID) und einem verfahrbaren Probenträger (X, Y, Z-Achse), einer Steuer- und Auswerteeinheit mit einem PC, einem Monitor und Steuervorrichtungen. Die Einzelkomponenten sind über Kabel miteinander verbunden und bilden somit eine funktionelle Einheit. Das Gerät dient als bildgebendes Analyseinstrument mit einer Auflösung von 3 µm beim Auffinden von Fertigungsfehlern z.B. von Halbleiterbauelementen. Das Rastermagnetmikroskop ist keine Ware der Pos. 9030, als "Gerät zum Messen oder Prüfen elektrischer Größen", da diese Messungen in Bezug auf den Verwendungszweck (bildgebendes Analyseinstrument) nur als Hilfsfunktion anzusehen sind. Die Ware wird somit als "anderes als optisches Mikroskop, anderes als Unterposition (KN) 9012 1010" eingereiht. Abbildung: siehe Anlage

Rasterkraftmikroskop, sog. Atomic Force Microscope (AFM), im Wesentlichen bestehend aus einem Gehäuse mit einem sog. Cantilever mit Probenspitze sowie Messsensoren. Das Gerät dient der Ermittlung der Oberflächenstruktur von Fotomasken. Mit Hilfe der Messdaten können Defekte auf den Masken zielgerichtet und schnell repariert werden. Das Gerät ist Teil eines Fotomaskenreparatursystems. Nicht Position 8484, weil Waren des Kapitels 90 ausgenommen sind. Die Ware wir als "anderes als optisches Mikroskop, anderes als Unterposition (KN) 9012 1010" eingereiht. Abbildung: siehe Anlage

Nicht optisches Mikroskop, im Wesentlichen bestehend aus: - einer Helium-Ionen-Quelle zur Erzeugung eines Ionenstrahls - einer Vakuumkammer mit Vakuumpumpen - zwei Computern mit Analysesoftware und zwei 20" Monitoren zur Messdatenanalyse und Speicherung - jeweils einem Ionen-, Elektronen- und Transmissionsdetektor - einer Videokamera zur Überwachung der Ionenquelle - einer Videokamera zur Überwachung der Probenkammer - einem Steuerpult - einem 5-achsigen motorisierten Probentisch - einem Schreibtisch (125 x 70 cm; nicht Gegenstand dieser vZTA) zur Aufnahme der Computer, des Steuerpultes und der Monitore. Die Einzelkomponenten sind mit Kabeln verbunden und bilden somit eine funktionelle Einheit, deren Funktion durch das Mikroskop mit 100-facher bis 1 Mio.-facher Vergrößerung bestimmt wird. Das Gerät hat ein breites Anwendungsspektrum in Wissenschaft und Industrie, wie z.B. bei der Oberflächenanalyse. Die Ware wird nicht von Pos. 9027erfasst, da es sich nach den objektiven Beschaffenheitsmerkmalen um ein nichtoptisches Mikroskop handelt. Die Ware wir somit als "anderes als optisches Mikroskop, anderes als UPos (KN) 9012 1010" eingereiht. Abbildung: siehe Anlage

Anderes als optisches Mikroskop (Rastertunnelmikroskop -RTM-), so genanntes UHV 350/750 AFM/STM (Atomic Microscope / Scanning Tunneling Microscope), im Wesentlichen bestehend aus Ultrahochvakuumsystem (UHV) mit Edelstahlkammer mit Vakuumpumpen, bestückt mit Tastertunnelmikroskop und zusätzlicher Präparationskammer. Die Tunnelspitze des RTM wird im UHV-System über eine Probenoberfläche gerastert. Während des Rastervorgangs ist eine Spannung angelegt. Der durch die Spitze fließende Strom überlagert sich mit den von der Oberfläche des Prüfobjekts abgegebenen Elektronen, so dass ein Austausch von Elektronen auftritt, was zu einem Tunnelstrom führt. Dieser wird gemessen und gibt dann den Kontrast für die Abbildung wieder. Damit können Bilder der elektronischen Oberflächenstruktur mit atomarer Auflösung aufgenommen werden. Das Rastertunnelmikroskop wird in der Forschung zur Oberflächenanalytik eingesetzt.