Teil, erkennbar ausschließlich für einen Apparat zum Projizieren von Schaltungsbildern auf sensibilisierte Halbleitermaterialien bestimmt, sog. Litel InspecStep Interferometer ISI 193. Die Ware besteht im Wesentlichen aus einem Linsen-Array auf einem mit Mustern versehenen Reticle und wird zur Prüfung der Linsenaberrationen des Belichtungssystems verwendet. Mit Hilfe des sog. Interferometers wird ein Wafer belichtet, die Strukturen werden durch ein Overlay-Tool gemessen und auf einem Datenverarbeitungsgerät analysiert (beides nicht Gegenstand dieser vZTA).

Rechtsvorschriften: AV 1 / AV 6 / Anm 2 b) Kap 90