Kühlmagazin, - aus zwei Kühlplatten mit interner Wasserführung, Rohranschlüssen zum Medienein- und -auslass und Befestigungselementen (Abbildung siehe Anlage), - zur Abkühlung von Waferscheiben bei der Herstellung. "Apparat zum Herstellen von Halbleiterscheiben - sog. Kühlmagazin"

AV 1 / AV 6 Anm 9 D) Kap 84