Gasring - nach technischer Zeichnung spezifisch gefertigtes, ringförmiges Erzeugnis, mit festgelegten    Ausgangspunkten (Bohrungen), - zum Befestigen am Quellenflansch einer Plasmakammer, - zur Spülung der Plasmakammer mit Wasserstoff. "Teil, erkennbar ausschließlich bestimmt für Apparate von der ausschließlich zur Herstellung    von Halbleiterbauelementen verwendeten Art - Gasring"

AV 1 / AV 6 Anm 2 b) ABS XVI