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Mechanische Greifeinheit auch gen. Greifgabel - in Form einer verwendungsspezifischen Baugruppe mit einer Auflageplatte aus   Metall (Aluminiumlegierung) mit runder Aussparung, Auflageelementen aus   Kunststoff, zwei beweglichen Greifarmen jeweils mit Gelenken und Keramik-   lagern (Abbildung siehe Anlage). -Zur Aufnahme, Fixierung und ortsgenauen Ablage (Platzierung) von Halbleiter-   scheiben (Wafer) nach Einbau in einen Wafer-Handlingroboter. "Teil, erkennbar ausschließlich bestimmt für in Anmerkung 9C) zu Kapitel 84 genannte   Maschinen, Apparate und Geräte - mechanische Greifeinheit (Greifgabel) für einen   Wafer-Handlingroboter zum Transportieren und Bewegen von Halbleiterscheiben   (Wafer).

Teil einer in Anmerkung 11 C zu diesem Kapitel genannten Maschine, bestehend aus einem mechanisch geschliffenen Teil auf das eine Siliziumplatte mit Lochmustern geklebt wird. Die Kugeln gewährleisten eine reproduzierbare 3-Punktauflage, um eine exakte Höhe einzustellen. Der Zylinder in der Mitte ist ein Gewicht mit Loch, damit der Elektronenstrahl durchgeleitet werden kann. Das Erzeugnis wird in einem Maskenschreiber in der Halbleiterproduktion genutzt, um die optische Fokusebene einzustellen. (Angaben laut Unternehmen) (siehe Abbildungen)

Gasring - nach technischer Zeichnung spezifisch gefertigtes, ringförmiges Erzeugnis, mit festgelegten    Ausgangspunkten (Bohrungen), - zum Befestigen am Quellenflansch einer Plasmakammer, - zur Spülung der Plasmakammer mit Wasserstoff. "Teil, erkennbar ausschließlich bestimmt für Apparate von der ausschließlich zur Herstellung    von Halbleiterbauelementen verwendeten Art - Gasring"

Gasdüse - nach technischer Zeichnung spezifisch gefertigtes Erzeugnis aus Wolfram, rohrförmig, mit    beidseitig verjüngten Enden, - zum Einbau in die Gaszuführung einer Plasmakammer, - zum Einbringen des Prozessgases. "Teil, erkennbar ausschließlich bestimmt für Apparate von der ausschließlich zur Herstellung    von Halbleiterbauelementen verwendeten Art - Gasdüse"

Teil einer in Anmerkung 11 C zu diesem Kapitel genannten Maschine, in Form eines kleinen Edelstahlzylinders von 5 mm Durchmesser mit einem mittigen Loch und mit einer, im oberen Drittel umlaufenden Feder; das Erzeugnis dient als Teil für einen Maskenschreiber; aufgemacht in einer reinraumgereinigten Membranbox und mit einer rosa Reinraumfolie. (Angaben laut Unternehmen)