Sog. Ozon-in-Wasser-Generator - aus einem wassergekühlten Ozongenerator zur Ozongas-Erzeugung mittels elektrischer Entladung, Kontaktor zur Vermischung/Anreicherung von DI-Wasser mit Ozongas, Ozon- vernichter für nicht gelöstes Ozongas, Mess- und Regelgeräte zur ständigen Überwachung und Regelung der Prozessparameter, Gerätesteuerung und Stromversorgung, in einem Schrankgehäuse mit Kommunikations-Interface, Bedien- und Anzeigeelementen sowie Medien-Anschlüssen (Abbildung siehe Anlage), - zur Bereitstellung und Lieferung von mit Ozon angereichertem DI-Wasser für Substrat- Reinigungszwecke, - gleichermaßen zur Verwendung bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen als auch zur Verwendung in der Displayindustrie geeignet. "Apparat von der ausschließlich oder hauptsächlich zum Herstellen von Flachbildschirmen verwendeten Art - sog. Ozon-in-Wasser-Generator (Apparat zur Herstellung von Halbleiter- bauelementen als auch zur Herstellung von Displays) - sog. Ozon-in-Wasser-Generator"

AV 1 / AV 6 / AV 3 c) Anm 9 D) Kap 84