Messgeräte für Halbleiterscheiben (Wafers) in Form funktioneller Einheiten, im Wesentlichen jeweils bestehend aus einem Messgerät, welches über Kabel mit einem PC (teilweise mit Monitor und Drucker) zur Steuerung, Darstellung, Auswertung und Speicherung der Messwerte verbunden ist (siehe beispielhafte Abbildungen in der Anlage). Die Messgeräte setzen sich aus einem Gehäuse mit einer Aufnahmevorrichtung für die Halbleiterscheiben sowie der notwendigen Messtechnik zusammen. Sie dienen der Messung des spezifischen elektrischen Widerstandes in Ohm (Schicht- oder Flächenwiderstand) der leitfähigen oder isolierenden Schichten auf Halbleiterscheiben (Wafers). Die Ware wird als "Gerät zum Messen oder Prüfen elektrischer Größen (Widerstand), kein Zähler der Position 9028, anderes als Unterposition (HS) 9030 10 bis 9030 40, als Gerät zum Messen oder Prüfen von Halbleiterscheiben (wafers) oder Halbleiterbauelementen (einschließlich integrierter Schaltungen)" eingereiht.

AV 1 / AV 6 Anm 3 Kap 90 / Anm 4 ABS XVI ErlKN Pos 9030 (HS) RZ 33.1 / ErlKN Pos 9030 (HS) RZ 36.0 / ErlKN Pos 9030 (HS) RZ 66.0 bis 67.0 / ErlKN Pos 9030 (KN) RZ 15.0 bis 17.0