Zweischeibenflachpoliermaschine (Abbildung siehe Anlage) - im Wesentlichen bestehend aus einem speziell ausgelegten Gehäuse, einem Drehstrommotor   mit Getriebe, Polierscheiben mit Verstellmechanismus, einem Werkstückhalter, einem   Kontrollpanel, einem Schaltschrank, einem Wärmetauscher sowie einer fest mit dem   Maschinenbett verbundenen Be- und Entladestation, - zum Entladen der Wafertransportboxen und Bestücken der Zweischeibenflachpoliermaschine   sowie zum gleichzeitigen Polieren mehrerer Wafer mittels planparallelem Polierverfahren, - zum Einsatz bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen. "Maschine zum Herstellen von Halbleiterbauelementen - Zweischeibenflachpoliermaschine"

AV 1 / AV 6 Anm 11 C) 3) Kap 84 / Anm 11 D) Kap 84