Ozongasgenerator - aus vier Ozonerzeugermodulen mit Ozonerzeugerröhre aus Aluminiumoxid-Keramik, Rohr- leitungen, Ventilen, Kühlvorrichtung, Sensorsystem, Hochspannungsgenerator und Steuerplatine, in einem Schrankgehäuse (Abmessungen T x B x H: 915 x 610 x 1915 mm) mit Anschlüssen für Gaszufuhr- bzw. -abgabe, Stromanschluss sowie Bedien- und An- zeigeelementenn, - zur Bereitstellung von Ozon durch Ozonerzeugung aus Sauerstoff (Druckbereich des zuge- führten Sauerstoffs: 4,1 bar) mittels stiller elektrischer Entladung (Ozonproduktion 360 g/h), - zur Verwendung in der Halbleiterindustrie bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen (z. B. zur Herstellung von Ozonwasser zur Waferreinigung). "Apparat von der ausschließlich oder hauptsächlich zum Herstellen von Halbleiterbauele- menten verwendeten Art, keine Ultraschallwerkzeugmaschine - Ozongasgenerator"

AV 1 AV 6 Anm 9 D) Kap 84