Implanteur ionique à immersion plasma en micro et nanoélectronique pour la fabrication de dispositifs à semi-conducteur ou dans le domaine du photovoltaïque. La machine est composée : - d’une chambre de traitement en alliage d’aluminium, - d'un système de pompage (avec vanne d’isolement à vide, une pompe et un manomètre à vide), - d'une armoire à gaz en acier inoxydable équipée de vannes, de régulateurs de débit massique et d’une à trois conduites de gaz, - d’un système de polarisation avec condensateurs ou commutateurs, - d’une table de support standard en aluminium recouverte d'un élément en graphite, - d’un système de chargement manuel ou automatique, - d’une interface utilisateurs. Dimensions : 1,3 x 3,3 x 2,3 m (sans système de chargement semi-automatique) ou 3,1 x 3,3 x 2,3m (avec système de chargement semi-automatique). Masse : 2500 kg environ (sans système de chargement semi-automatique).

Règles générales 1 et 6 : le classement est déterminé par les notes de section et de chapitre, ainsi que par le libellé de position, de sous-position et de code NC. Note 4 de la Section XVI : lorsqu'une machine ou une combinaison de machines sont constituées par des éléments distincts (même séparés ou reliés entre eux par des conduites, des dispositifs de transmission, des câbles électriques ou autre aménagement) en vue d'assurer concurremment une fonction bien déterminée comprise dans l'une des positions du chapitre 84 ou du chapitre 85, l'ensemble est à classer dans la position correspondant à la fonction qu'il assure, à savoir la fabrication de dispositifs à semi-conducteur ou des circuits intégrés électroniques. Notes 9. A) et D) du chapitre 84. NESH de la position tarifaire du 8486, paragraphe B, alinéa 2.b), reprenant les machines et appareils pour la fabrication de dispositifs à semi-conducteur ou des circuits intégrés électroniques, tels que : les appareils d’implantation ionique servant à « introduire » les dopants dans la structure cristalline de la surface de la plaquette sous la forme d’un faisceau d’ions accélérés. NESH d'exclusion de la position tarifaire du 8456, paragraphe 1°) qui exclut de la présente position les machines des types ci-après, qui relèvent du n° 84.86, les machines travaillant par enlèvement de toutes matières des types utilisés exclusivement ou principalement pour la fabrication des lingots, des plaquettes ou des dispositifs à semi-conducteur, des circuits intégrés électroniques ou des dispositifs d'affichage à écran plat. NENC de la position tarifaire du 8486 20 00 publiées au JOUE n°C 119/344 du 29.03.2019.