DEM/4603/08-18486309000
Laseranlage
- aus einem 2-Kammer Excimer Laser, einer Strahlführungseinheit aus Ausgangsstrahl-
Monitoreinheit, Abschwächer, Strahlaufweitungsoptik und elektrisch steuerbaren Umlenk-
spiegeln, Monitoreinheit für Strahlrichtung und -position, optischem Verschluss (Shutter)
Beleuchtungsmodul, Blende, Abbildungsoptik, Strahlmonitor, Vakuumspanntisch (Chuck)
und Positioniersystem
- zur Herstellung von Substraten für Flachbildschirme (TFT-Bildschirme) durch Umkristal-
lisation von amorphem Silizium in polykristallines Silizium.
"Maschine von der ausschließlich zum Herstellen von Flachbildschirmen verwendeten Art,
keine Ware der Unterpositionen 8486 3010 bis 8486 3050 - sog. Laseranlage"