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System für die Atomsondentomographie in Form einer funktionellen Einheit, im Wesentlichen bestehend aus einem Hauptgerät, einem Steuerschrank und einer integrierten Steuer-, Auswerte- und Überwachungsstation mit PC. Die Einzelkomponenten sind über Kabel verbunden. Das Hauptgerät verfügt über ein Vakuumsystem mit Pumpen, eine Probenkammer, einen Hochspannungsgenerator, einen Laser, sowie einen Detektor (siehe Abbildung in der Anlage). Das System ist eine Weiterentwicklung des Feldionenmikroskops und ermöglicht die dreidimensionale Abbildung der lokalen Zusammensetzung von Materialien in atomarer Auflösung. Hierzu werden mit Hilfe von Hochspannungsimpulsen und Laser einzelne Atome aus der Probe gelöst, welche durch den Detektor nach Raum und Zeit detektiert werden. Dadurch kann die ursprüngliche Position der Atome in der Probe rekonstruiert werden. Das Gerät wird in der wissenschaftlichen Materialanalyse eingesetzt. Die Ware wird als "anderes als optisches Mikroskop, kein Elektronenmikroskop, mit Vorrichtungen versehen, die ihrer Beschaffenheit nach zum Handhaben und Transportieren von Halbleiterscheiben (wafers) oder Reticles besonders bestimmt sind" eingereiht.

Elektronenmikroskop, im Wesentlichen bestehend aus mehreren über Leitungen miteinander verbundenen Komponenten (funktionelle Einheit) für die Einrichtung zum Transport, zum Laden und Ausrichten von Wafern. Rasterelektronenmikroskop mit Positioniertisch und optischem Mikroskop, Computer und Kontrollelektronik, Rotationsvakuumpumpen und Stromversorgung. Die Apparatur dient der vollautomatischen Vermessung auf rasterelektronenoptischer Basis von Linien und Kontaktlöchern von Schaltungsmustern auf Wafern bei der Halbleiterproduktion. Eine Einreihung in die KN-Unterposition 9012 1090 kommt nicht in Betracht, da die Ware von der KN-Unterposition 9012 1010 erfasst wird. Die Ware wird als "anderes als optisches Mikroskop, Elektronenmikroskop, mit Vorrichtungen versehen, die ihrer Beschaffenheit nach zum Handhaben und Transportieren von Halbleiterscheiben (wafers) oder Reticles besonders bestimmt sind " eingereiht.

Mikroskop, nicht optisch, bestehend aus einer Untersuchungseinheit (im Wesentlichen bestehend aus Elektronenerzeugung, Detektoren, Probenkammer, Pumpen), einer Steuer- und Bedieneinheit (PC, Monitor, Maus, Tastatur) sowie einer Stromversorgungseinheit. Die Komponenten sind durch Kabel miteinander verbunden und bilden eine funktionelle Einheit. Das Rasterelektronenmikroskop dient der Abbildung kleinster Dimensionen im Mikro- und Nanometerbereich. Zur äußeren Form siehe Abbildung in Anlage. Die Ware wird als "nicht optisches Mikroskop" eingereiht.

Transmissionselektronenmikroskop für biomedizinische Anwendungen, im Wesentlichen bestehend aus einer funktionellen Einheit aus Untersuchungseinheit (Elektronenerzeugung, CCD-Kamera, Double-Gap-Objektivlinse, Probenkammer, Vakuumpumpsystem), einer Steuer- und Bedieneinheit (Computer, LCD-Monitor, Tastatur, Steuerpult) und einer Stromversorgungseinheit (120 kV). Das Elektronenmikroskop dient zur Betrachtung von biologischen Proben und ermöglicht die Bedienung in beleuchteten Räumen. Zur äußeren Form siehe Abbildung in Anlage. Die Ware wird als "anderes als optisches Mikroskop" eingereiht.

Elektronen-Mikroskop, im Wesentlichen bestehend aus mehreren über Leitungen miteinander verbundenen Komponenten (funktionelle Einheit) wie Einrichtung zum Transport, Laden und Ausrichten von Wafern, Rasterelektronenmikroskop mit Positioniertisch und optischem Mikroskop, Computer und Kontrollelektronik, Rotationsvakuumpumpen und Stromversorgung. Die Apparatur dient der vollautomatischen Vermessung auf rasterelektronenoptischer Basis von Linien und Kontaktlöchern von Schaltungsmustern auf Wafern bei der Halbleiterproduktion. Die Ware wird als "anderes als optisches Mikroskop" eingereiht.