Elektronen-Mikroskop, im Wesentlichen bestehend aus mehreren über Leitungen miteinander verbundenen Komponenten (funktionelle Einheit) wie Einrichtung zum Transport, Laden und Ausrichten von Wafern, Rasterelektronenmikroskop mit Positioniertisch und optischem Mikroskop, Computer und Kontrollelektronik, Rotationsvakuumpumpen und Stromversorgung. Die Apparatur dient der vollautomatischen Vermessung auf rasterelektronenoptischer Basis von Linien und Kontaktlöchern von Schaltungsmustern auf Wafern bei der Halbleiterproduktion. Die Ware wird als "anderes als optisches Mikroskop" eingereiht.

Rechtsvorschriften: AV 1 / AV 6 / Anm 3 Kap 90 / Anm 4 ABS XVI