Andere feuerfeste keramische Waren als in der Position 6902 genannt (Einreihung anhand ergänzender Antragsangaben), - runde Haltevorrichtung aus mit Siliciumcarbid beschichtetem Graphit, sog. Siliciumcarbid beschichtete Scheibenträger, - - mit einem Gehalt an Graphit von mehr als 50 GHT, - nach vorheriger Formgebung gebrannt, - mit einer Mohsschen Härte von mehr als 9, - Feuerfestigkeit größer als 1500°C (Hitzebeständigkeit), Arbeitstemperatur unter 1500°C, - zur Aufnahme von Halbleiterscheiben (Wafer), durch Einlegen in die vorgesehenen 21 Mulden, auf die während des Fertigungsprozesses in speziellen Öfen kristalline Schichten aufgewachst werden, - keine Einreihung in die Position 8486, da Teile aus keramische Stoffe gemäß der Anm. 1 b) zu Kapitel 84 von diesem Kapitel ausgenommen sind. "Andere feuerfeste keramische Ware (Halterung), andere als in den Unterpositionen 6903 10 und 6903 20 genannte, aus Siliciumcarbid beschichtetem Graphit, von der für Diffusions- und Oxidationsöfen bei der Herstellung von Halbleitermaterialien verwendeten Art"

Rechtsvorschriften: Anm 1 Kap 69 / Anm 1 b) Kap 84 Erläuterungen: ErlKN Pos 6903 (HS) RZ 01.5, 02.0 und 03.1 ErlKN Kap 69 TK I (HS) RZ 04.0 und 05.0