Elektronisches Gerät zum Messen von Spannung, ohne Registriervorrichtung, kein Multimeter, nicht für zivile Luftfahrzeuge bestimmt, sog. PlasmaVolt Wafer in Form eines mit 7 kapazitiven Sensoren bestückten Siliziumwafers. Der Wafer ist mit einem elektronischen Modul ausgestattet, welches die von den Sensoren aufgenommenen Messwerte speichert, bis sie an die Basisstation (nicht Gegenstand dieser vZTA) mittels Infrarot-Verbindung übermittelt werden. Die Ware wird zum Messen der Spannung des Hochfrequenzfeldes (RF-Spannung) des Ätzplasmas bei der Waferherstellung verwendet.

Rechtsvorschriften: AV 1 / AV 6 / ZAnm 1 Kap 90