Mikroskop, nicht optisch, nicht mit Vorrichtung zum Handhaben und Transportieren von Halbleiterscheiben oder Reticles versehen, - sog. Feldemissionsrasterelektronenmikroskop, bestehend aus einer Untersuchungseinheit (im Wesentlichen bestehend aus Elektronenerzeugung, Detektoren, Probenkammer), einer Steuer- und Bedieneinheit (PC, Monitor, Mouse, Tastatur), Pumpen, einem Luftkompressor sowie einer Hochspannungseinheit. Die Komponenten sind durch Kabel miteinander verbunden und bilden eine funktionelle Einheit. Das Rasterelektronenmikroskop dient der Abbildung kleinster Dimensionen im Mikro- und Nanometerbereich. Ein Bild der Ware befindet sich im Internet unter http://europa.eu.int/comm/taxation_customs/dds/de/ebticau.htm.

Rechtsvorschriften: AV 1 / AV 6 / Anm 3 Kap 90 / Anm 4 ABS XVI