Angaben: Schutzbeschichtung für Wafer/Halbleiterscheiben; verhindert, dass sich beim Bearbeiten Partikel auf dem Wafer absetzen und diesen dadurch beschädigen. Befund: Lack auf der Grundlage von Acryl- oder Vinylpolymeren, in einem wässrigen Medium dispergiert oder gelöst.

AV 1 / AV 6 ErlKN Pos 3209 (HS) RZ 01.0 - 03.0