Sog. Probecard, im Wesentlichen bestehend aus einer annähernd kreisförmigen Leiterscheibe mit aktiven und passiven Bauelementen. Äußere Form: Siehe Abbildung in der Anlage. Die Ware wird in ein Testsystem für Halbleiterscheiben (nicht Gegenstand dieser vZTA-Entscheidung) eingebaut und dient dort der elektrischen Kontaktierung und Größenanpassung zwischen Testgerät und Wafer. Solche Testsysteme testen durch das Messen und Prüfen elektrischer Größen die Funktionsfähigkeit von Halbleiterscheiben. Die Prüfung dient Produktionstests, dem Aussortieren mangelhafter Einheiten, der Charakterisierung und Bestimmung elektrischer Sollparameter und der Prozessvalidierung. Die Ware wird als "Teil, erkennbar hauptsächlich bestimmt für ein Gerät zum Messen oder Prüfen elektrischer Größen" eingereiht.

AV 1 / AV 6 Anm 2 b) Kap 90 ErlKN Pos 9030 (HS) RZ 64.0, 65.0 / ErlKN Pos 9030 (KN) RZ 15.0 - 18.0