BTI DEM/9028/07-1
Description des marchandises
Elektronenstrahlverdampfer (sog. Eintiegelverdampfer), - aus Filamentblock mit Anode und Kathode, Magnetblock, wassergekühltem Tiegel (Topf-Tiegel) für Verdampfungsgut/Beschichtungsmaterial, Wasseranschlüssen und elektrischen Anschlüssen, - zur Beschichtung verschiedener Substrate mit unterschiedlichen Materialien durch Verdampfen von reaktiven und hochschmelzenden Metallen und Dielektrikas mittels Elektronenstrahl. Lieferung erfolgt ohne prozessbedingte Komponenten wie Vakuumkammer, Vakuum- Pumpsystem, Substrathalter, elektrische Heizung für Substrat, Steuerung und Stromversorgung. "Elektrisches Gerät mit eigener Funktion, in Kapitel 85 anderweit weder genannt noch inbegriffen, unvollständig; Elektronenstrahlverdampfer"